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寸法精度を求める場合、耐摩耗性や滑り性、離型性(非粘着性)などの性能と同時に、寸法精度が必要されることが多いです。
シャフトや軸の場合 シャフトや軸などの場合、寸法精度(嵌め合い等)がある場合がほとんどとなりますので、表面処理のみで精度範囲に収めることは厳しく、厚メッキなどを施してから機械加工で研削や研磨が必要となります。
精密品、成形金型の場合 寸法精度が安定する蒸着系(DLCコーティングなど)や化学めっき(無電解ニッケルめっきなど)が採用されることが多いです。薄い膜で、膜の均一性があります。
成形金型からの離型、抜け性、流動性を良くしたい場合 フッ素複合無電解ニッケルめっきや蒸着系でクロムなどが採用されることが多いです。 また、離型性を一番に考えた場合、フッ素系材料を反応させるコーティングや密着性を高めるべくプラズマ処理をしたあとにシリコン化合物などの離型剤を塗布する特殊な方法もございます。