蒲田工業株式会社 kamata industry Co.,ltd

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Pressure 圧力分布測定システム

シリコンウェハ用圧力分布

<歩留まりアップを圧力管理からサポート!>

■シリコンウェハの大きさにより、センサーシートを用意しています。
■バッチ式だけでなく、毎葉式にも対応しています。
■センサーシートは厚さ約0.1mmと超薄型となっており、実使用に極めて近い状態での測定が可能です。
■測定データは2次元・3次元の画面で表示可能です。また、取り込んだデータは再生が可能で、解析の機能も充実しています(パソコンの使用可能機種は当社にお問い合わせください)。
用 途
シリコンウェハ研磨押付圧力分布 CMP
ソフトウェア
2次元・3次元表示 単位の変更 ASCIIデータへのセーブ
等圧線表示 ピークプレッシャー表示 データのカラープリントアウト
データの平均化処理 力対時間のグラフ 各種データの編集機能
COF(力の中心点)表示 圧力の断面表示 ズームアップ機能
COFの軌跡の表示 サンプリング速度の変更 データのレコーディング
接触面積の表示 トリガー機能 ノイズスレッショルドの変更
自動出力補正機 レコーディングデータの
2画面表示他
 
仕 様

種類 呼称 分解能
(mm)
マトリックス数 センサー部サイズ
(mm)
測定範囲
(KPa)
寸法
(mm)
SCAN 100 2.54 44×44 112×112 (0.5)5〜50
(H)20〜200
(R)130〜1300
(C)700〜7000
a:149
b:116
c:248
d:420
150 3.75 165×165 (R)130〜1300
(C)700〜7000
a:200
b:170
c:90
d:320
210 5.4 238×238 (0.8)8〜80
(H)20〜200
(R)130〜1300
(C)700〜7000
a:284
b:250
c:200
d:540
BIG-MAT 1300 10 44×48 440×480 30〜300
1500 15〜150
1750 7.5〜75
2000 2〜20
仕 様

種類 分解能
(mm)
マトリックス数 センサー部サイズ
(mm)
測定範囲
(KPa)
寸法
(mm)
C-SCAN12S 4.1 88×88 360.8×360.8 5〜50
20〜200
12インチ
面圧測定用
C-SCAN08E 1.0×5.0 80×10×4ユニット 80×50×4ユニット 20〜200 8インチ
端部測定用
C-SCAN12E 1.0×5.0 80×10×4ユニット 80×50×4ユニット 20〜200 12インチ
端部測定用

○センタ内分布精度 ±10%
○サンプリング速度 最大66Hz
○I-SCANは上記の他にも種類があります。
また、測定範囲は変更することができます。
○1KPa≒0.01kgf/cm²