既存建屋の構造制約や電力制限がある中、1tを超える重量機器にも対応した高清浄度クラス100（ISO Class 5）のクリーンルームを構築しました。限られたスペースに対応したレイアウト設計に加え、高強度床パネルを採用することで重量機器にも対応。さらに、省エネ運転や排気風量に連動した空調制御により、限られた電力量でも安定したクリーン環境を実現しました。

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