半導体製造向け試作用クリーンブースの設計施工。動線計画に沿ったレイアウト設計と各工程別に清浄度クラスを管理｜蒲田工業株式会社

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半導体製造向け試作用クリーンブースの設計施工。動線計画に沿ったレイアウト設計と各工程別に清浄度クラスを管理

お客様のお困りごと　　KE-52

お客様は、半導体製造向け製品の試験室と装置製作実験室・開発室用に各工程別に区分けされた広さ１００㎡程のクリーンブースの導入を検討されていました。

お客様の抱える課題

クリーンブース導入が初めてであったため、レイアウト設計から付帯設備工事まで対応可能な実績豊富な専門業者を探していました。またクリーンブースの知識を学びながら設計施工を進めたいと考えていました。
建屋内のスペースは限られており、各部屋に必要なスペースを設けられる有効な活用方法を検討していました。
クリーンブースの設計施工のコストについても、なるべく抑えられる方法を探していました。
クラス1,000の部屋には、ドラフトチャンバーを設置し排気と給気を調整する必要があり、またダクトの位置をクリーンブースのレイアウトに反映する必要がありました。

蒲田工業からのご提案内容

■ 工程別清浄クリーンブース
クリーンブースのイメージ

工程別に清浄度クラスを維持管理できるアルミ製クリーンブースを提案しました。製品の実験室を清浄度クラス1,000、試験室と開発室を清浄度クラス10,000とし、お客様の要望にお応えしました。また、人の動線を考慮したレイアウトを設計し、施工時には、現地調査・設計から付帯設備工事まで一貫施工しました。

解決のポイント

工程（部屋）別の作業スペース確保と清浄度クラス管理を実現できるよう、エアシャワーからの動線計画、入退室管理等に配慮し設計しました。
クリーンブースの設計施工に加えて、エアシャワーの据付や床（長尺シート）までお客様のご要望に合わせて一括施工しました。
壁ギリギリまでスペースを有効活用できる自社開発のオリジナルアルミフレームを使用しました。
KAMATAクリーンブースは、気密性能が高く、美観性にも優れた製品です。
既設の空調を活用し、FFUの位置を調整しました。メンテナンス用の点検口や既設コンセントなども踏まえてレイアウトを設計、コストダウンも実現しました。
また、排気と給気のバランスを調整し、ドラフトチャンバーの取付けなども現場に合わせて最適にカスタマイズしました。

施工写真

■ 施工後（クリーンブースの外観）
クリーンブース施工の外観

■ 施工後（クリーンブースの内観）
クリーンブース施工の外観

■ エアシャワー設置（三方向通路型＜T＞）

お客様の声

展示会で立ち寄った事をきっかけに、何度も細かな相談にのっていただき、こちらの悩み事に対して最適なご提案をしてくれました。また仕様変更や追加要望についても、スピーディーに対応して頂けました。美観性、品質も非常に満足しています。
次のクリーンルーム工事の相談もぜひ蒲田工業さんにお願いしたいです。

蒲田工業がご提供できる価値

クリーンブース・クリーンルームの展示会に東京・大阪・名古屋を中心に年間約7回出展しております。これまで30年以上にわたり培ってきた豊富な実績経験と技術力でクリーンルーム・ブースのレイアウト設計から付帯設備工事まで一貫施工で請け負っております。クリーン環境構築でお困りの際は、あらゆる業界で施工実績のある蒲田工業にお任せください。