半導体ウェハーへのめっき処理装置に
防塵対策クリーンルームを施工
お客様のお困りごと KE-53
半導体業界のお客様の事例です。 既設の工場内に半導体ウェハーへのめっき処理装置を新規導入することになり、防塵対策としてクリーンルームを検討されておりました。
お客様の抱える課題
- めっき工程にて酸系のガスが発生するため、大量の排気が必要。
給気と排気のバランスを考慮した空調システムの設計が求められる。 - めっき処理装置の導入に伴い電気容量が不足するため、トランス増設工事が必要。
- クリーンルーム内のほとんどのめっき装置と付帯設備で床面に空調機器設置スペースがないため、空調、ユーティリティ（給排気、エアー、純水など）を天井内に収める設計が必要。
- クリーンルーム施工時には、外観の美観性が求められる。（来客者が見学する要素があるので見学者スペースの視認性、意匠性が必要。）
- 工場の稼働日が決まっているため、それに合わせた工期厳守が求められる。
蒲田工業からのご提案内容
クリーンルームの設計施工からその他クリーンルームに関わる電気、空調設備、内装工事、ユーティリティ工事など付帯設備工事も含めた関連工事を一貫施工することをご提案しました。当社で一貫施工することにより、工期を厳守することも併せてご提案しました。
クリーンルーム室内の環境条件
- 清浄度クラス１0,000
- 温度23℃±3℃
解決のポイント
- 装置メーカーの要求排気風量を明確化し、適切な給排気を御提供しました。また省エネ対策としてめっき装置給排気とクリーンルーム加圧給気を分け、めっき装置が停止している時はめっき装置給排気を停止、外気処理エアコンの負担を減らしました。
- 建屋内の電気容量を増やすために、トランス（高圧受電設備）を新たに増設しました。
- 装置メーカーとユーティリティ仕様、ルート等を密に打合せ、薬液配管、エアー配管、純水配管、酸排気ダクト、空調ダクト、電気配線を狭小スペース天井内に収まるよう設計しました。
- 見学者スペースからクリーンルーム内の工程が見えるよう大型R形状ガラスを採用し、視認性、意匠性を追求しました。
- 当社の強みである「総合エンジニアリング力」を活かして、クリーンルームの設計施工、クリーンルームに関わる付帯設備工事までを一貫施工し、工期短縮をしました。
施工写真
施工前
施工後（クリーンルームの外観）
クリーンルームに関わる主な付帯工事
電気工事（キュービクル増設）
電気工事（キュービクル増設）
ユーティリティ工事(各種配管ラインの設計)
ユーティリティ工事(手洗い場)
エアーシャワー・シートシャッターの据付工事
お客様の声
人や物の動線経路を考慮して設計してもらえたので、高機能のクリーンルームとなり満足しています。工場見学にお越しになるユーザー様にも、クリーンルームの美観性についてお褒めの言葉をいただきました。
蒲田工業がご提供できる価値
蒲田工業では、半導体業界をはじめ様々な業界においてこれまで長年の経験と豊富な実績を活かし高精度なクリーンルームをご提供してまいりました。
新規での設計施工から大規模改修工事などを伴う大型工事案件を内装、空調、電気、ユーティリティなどトータルの工事を一貫施工で対応いたします。
事例番号
KE-53
※お問い合わせの際は「事例番号」をお伝え下さい。
営業パーソンの紹介 クリーン事業部 西村善弥
信頼の厚いクリーン環境構築のスペシャリストです。十数年に渡るクリーン業界での豊富な知識で真摯に対応いたします。新規導入はもちろんのこと、既設クリーン空間の高レベル化、空調改善などの改修工事にも、高い技術力によってご満足いただける空間へと導きます。
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