半導体製造装置の組み立て工場に
高清浄度クラスのクリーンルームを施工
お客様のお困りごと KE-51
半導体製造装置の組み立ての立ち上げに伴い、高清浄度クラスのクリーンルームが必要となり、施工方法や高清浄度クラスの実現方法について、当社にご相談がありました。
お客様の抱える課題
- 既設天井には天井クレーンが走行している為、クリーンルーム施工時に採用されることが多い吊り天井方式以外の方法を検討する必要がある。
- クリーンルーム内に大型装置を搬出入する為、それに合わせた大型の出入口を設けること。
- 半導体製造装置の組み立て工程の稼働日が決まっているため、そのスケジュールに間に合うよう、クリーンルーム施工の短工期化が求められた。
蒲田工業からのご提案内容
クリーンルームの清浄度クラス1,000を維持管理し、さらにお客様がご希望されていた必要換気回数の基準をクリアできる方法として、天井ダクト方式とラインダクト式を組み合わせた空調システム設計をご提案しました。
解決のポイント
- クリーンルーム建屋の周囲に門型の鉄骨を組み、鉄骨内部にクリーンルームを自立させて設計施工する構造を採用。
吊り込み荷重を加味して構造計算を実施。その基準に合う鉄骨の太さ・数量を採用しました。 - 大型装置の搬出入の動線経路を確保するために、入り口には特注サイズ（W3,500×H3,500）の大型両引スライドドア、シートシャッターを設置しました。
- 内装工事（天井・壁・床工事含む）、設備工事の他、生産ユーティリィティ工事(圧空・生産盤・生産動力コンセント)や機器設置工事も含めた施工を一貫対応し、工事全体の工期を短縮しました。
施工写真
施工後（クリーンルームの外観）
施工後（クリーンルームの内装１）
施工後（クリーンルームの内装２）
クリーンルームに関わる主な付帯工事
各種配管ダクト工事
ユーティリティ工事
空調設備工事
お客様の声
工場の稼働日が決まっていたため、全体の工期が短くなりましたが、高清浄度クラスを維持管理できる高性能なクリーンルームを施工してもらいました。
蒲田工業がご提供できる価値
クリーンルーム設計施工からそれに関わる建築工事、空調工事、電気工事、機器設置工事、ユーティリティ工事などの付帯設備工事までワンストップで対応いたします。30年以上に渡る3,500件以上の豊富な実績とこれまで培ってきた技術力を活かした高度なクリーン環境をご提供いたします。
事例番号
KE-51
※お問い合わせの際は「事例番号」をお伝え下さい。
営業パーソンの紹介 クリーン事業部 吉田 稔
若さと体力はクリーン事業部で一番！広大な関東エリアを縦横無尽に駆け巡ります。入社以来国内外、数多くの現場で鍛えられてきました。豊富な施工経験を活かして、既設設備の改修や追加導入などに強みを持っています。お客様にとって本当に使いやすい設備を提案すべく日々研鑽を積んでいます。
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