特定建設業許可 東京都知事第 94313号
許可業種 (特-3) 管工事業、機械器具設置工事業
許可業種 (特-4) 建築工事業、とび・土工工事業
塗装工事業、内装仕上工事業
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よくあるご質問への回答集

クリーンルームの清浄度クラスについて教えて下さい

清浄度クラスとは、クリーンルームの性能を等級分けする指標のことです。クラスを示す尺度は、単位体積に含まれる粒子の数で示されています。

さらに詳しい解説は動画をご覧ください。
清浄度クラスの歴史・清浄度クラスの定義・一般的な環境とクリーンルーム環境における清浄度の比較・清浄度規格表の説明などの解説もございます。
(「清浄度クラスの歴史」は1分2秒周辺。「清浄度クラスの定義」は1分45秒周辺で解説しています。)





※清浄度クラスについては下記表をご参照ください

ISO14644-1 清浄度クラスによる測定粒径と上限濃度

※横にスクロールしてご確認ください。

清浄度クラス 上限濃度(個/m3)
ISO
14644-1
米国連邦規格
(Fed.Std.209E)
測定粒径
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm
Class 1 - 10 2 - - - -
Class 2 - 100 24 10 - - -
Class 3 1 1,000 237 102 35 - -
Class 4 10 10,000 2,370 1,020 352 83 -
Class 5 100 100,000 23,700 10,200 3,520 832 -
Class 6 1,000 1,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293
Class 7 10,000 - - - 352,000 83,200 2,930
Class 8 100,000 - - - 3,520,000 832,000 29,300
Class 9 - - - - 35,200,000 8,320,000 293,000

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