
クリーンブースとは、局所作業環境の清浄化を目的に開発された一方向流のクリーンユニット(簡易型クリーンルーム)のことです。 クリーンルーム建設コストを抑えるために、部屋全体を低い清浄度にして生産装置の重要な箇所だけを高清浄度にするミニエンバイロメントが多く採用されており、クリーンブースの需要がますます大きくなっております。
| ・局所的であるため、建物全体の建設コスト削減が可能 |
| ・要求に合わせた空調を導入することにより、クラス1000〜10000(JISクラス6〜8)の清浄度をつくることが可能 |
| ・清浄度を細かく設定できるため、空調・送風系運転コストの削減、省エネに優れている |
| ・ミニエンバイロメントを実現できる |
| ・ビニール方式に比べ、安全性・気密性・美観性に優れる |
ミニエンバイロメントとは、製品を汚染源から隔離するための囲いによって作られた局所的なクリーン環境のことです。汚染に敏感な工程で使用される機器・作業を囲み、外気と隔離することで部分的に汚染制御できます。
マイクロエンバイロメントとは、製品を密閉容器に入れ、制御環境の隔壁の出入り口に搬送するシステムも含む隔離技術です。
クリーンルームは気流方式により3つに分類されていますが、クリーンブースにおいては基本的に非一方向流方式(乱流方式)となります。
非一方向流方式(乱流方式)とは天井の吹き出し口から給気され、床、壁の一角に設けれられた吸込口から環気をとる方式です。室内の発塵量と風量(循環回数・換気回数)、換気効率により清浄度が決まります。
この方式は、清浄空気による”混合”によるもので、室内は不規則な乱流状態となります。吹出口からの清浄空気と室内空気を混合し希釈させるため、超清浄空間には適用されず、清浄度クラス1000〜10000(JISクラス6〜8)程度のクリーンルームに採用されています。